本記事では、6インチシリコンウェーハ上に非感光性ポリイミドをベーク後約5 µm厚で塗布可能な国内メーカーについて整理します。月産25～50枚程度の小ロットに対応する加工先を探している方に向けた内容です。
対応可能な成膜加工サービス企業
国内でウェハ成膜加工を専門に手掛けるセーレンKST株式会社は、6インチウェハへの感光性・非感光性ポリイミド塗布に対応しています。スピンコートでの膜厚制御やベーク後処理も可能で、研究開発用途に強い点が特徴です :contentReference[oaicite:0]{index=0}。
試験・評価用途向けの少量ロットに対応しやすく、問い合わせで詳細なプロセス調整が期待できます。
素材提供も含む加工体制
富士フイルムは非感光性ポリイミド材料を提供しており、製造パートナーへの材料提供および技術支援を行っています :contentReference[oaicite:1]{index=1}。
メーカーから材料を直接調達し、自社または外注プラントで塗布・ベーク工程を行う際の信頼性が高いフローです。
高性能樹脂メーカーの材料提供
東レは「フォトニース®」「セミコファイン®」など、耐熱性・絶縁性に優れた非感光性ポリイミド樹脂をラインアップ :contentReference[oaicite:2]{index=2}。
自社労力で材料調達しつつ、外部プロセスパートナーと連携して用途に応じた厚膜塗布が可能です。
海外技術動向とスケール参考
海外では6インチウェハ上に10 µm厚程度のポリイミドを低温硬化でスピンコートする技術事例があり :contentReference[oaicite:3]{index=3}、国内でも同等仕様への対応が可能と見られます。
発注前に確認すべきポイント
- 膜厚精度（5 µm ±何％か）
- 焼成温度・プロセス条件（低温での硬化可否）
- 塗布ムラ、均一性
- アレイやパターン加工希望の有無
特に小ロットならば試作条件のすり合わせが重要になります。
その他の供給元候補
シリコンウェーハの再生・蒸着・加工を行う企業（例：株式会社エフエフティ）でも、外注工程カスタマイズを通じて非感光性ポリイミド塗布に対応してもらえる可能性があります :contentReference[oaicite:4]{index=4}。
まとめ
調達先としては。
- スピンコートからベークまで一括受託可能なセーレンKST
- 材料供給元としての富士フイルムおよび東レ
- 少量対応の再生・加工事業者（例：エフエフティ）
まずはセーレンKSTにウェハサイズ・膜厚・硬化条件などの条件を相談し、併せて素材メーカーとも連携しながら、要件に応じた最適な採用先を判断する流れがおすすめです。
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